Ker se proizvajalci polprevodnikov še naprej usmerjajo k naprednim tehnologijam pakiranja, vključno z integracijo čipov, flip-chip lepljenjem in 3D integriranimi arhitekturami, je potreba po visoko zanesljivi kriogeni infrastrukturi postala bolj kritična kot kdaj koli prej. V tem okolju so sistemi, zgrajeni okoliHL kriogeniVakuumsko obložena cev, izolirana cev, separator, ventil in ventilska omarica igrajo temeljno vlogo pri ohranjanju toplotne natančnosti in obratovalne stabilnosti.

Kriogeni nadzor v visoko natančnih pakirnih linijah

Sodobno pakiranje in testiranje čipov pogosto vključujeta izpostavljenost ekstremnim temperaturnim nihanjem, zlasti med termičnimi cikli, preverjanjem zanesljivosti in karakterizacijo pri nizkih temperaturah. Primarna funkcija kriogenega HLvakuumsko izolirana cevje dovajanje kriogene tekočine, običajno tekočega dušika, hkrati pa zmanjšanje vnosa toplote iz okoliškega čistega prostora.

Zahvaljujoč visoki ravni vakuuma in večplastni izolacijski zasnovi je HL Cryogenicvakuumsko obložena cevSistem učinkovito preprečuje uhajanje toplote in ohranja tekočino v stabilni tekoči fazi na dolge razdalje. To zagotavlja dosledno hladilno zmogljivost na več testnih postajah in odpravlja temperaturni zdrs, ki bi sicer lahko vplival na podatke o delovanju polprevodnikov.

V okoljih, občutljivih na utrujenost, lahko že manjše nihanje temperature vpliva na natančnost meritev. Zato se vse več preskusnih laboratorijev preusmerja na vakuumsko izolirane cevne sisteme HL Cryogenic kot dolgoročno rešitev za stabilno kriogeno dobavo.

Fazna stabilnost zagotovljena zFazni ločevalnik

Med delovanjem del kriogene tekočine neizogibno izhlapi, ko absorbira toploto okolice. Kriogeni sistem HLfazni ločevalnikigra ključno vlogo pri ločevanju hlapov od tekočine, preden dosežejo kritično opremo. To zagotavlja, da v občutljive preskusne komore in merilne postaje vstopi le podhlajena tekočina.

Z preprečevanjem dvofaznega toka kriogeni fazni separator HL znatno izboljša ponovljivost procesa in ščiti krmilne komponente pred nestabilnostjo toka. To je vse pomembnejše, saj se geometrije naprav krčijo in tolerančna okna v naprednih tehnologijah vozlišč postajajo manjša.

Varnost delovanja upravljaVentilinVentilna škatla

Pretok in tlak kriogenih tekočin v vakuumsko obloženem cevnem sistemu HL Cryogenic se regulirata s posebej zasnovanimi kriogenimi ventili HL Cryogenic. Te komponente so zasnovane za zanesljivo delovanje pri izjemno nizkih temperaturah in hitrih toplotnih prehodih.

Za dodatno izboljšanje varnosti in dostopnosti sistema je vsak kriogeni ventil HL nameščen v izolirani omarici za kriogeni ventil HL. Omarica za ventil ščiti ventil pred vdorom vlage, zmanjšuje nabiranje zmrzali in tehnikom omogoča izvajanje pregledov in nastavitev, ne da bi pri tem motili toplotno ravnovesje okoliških območij.

Ta kompaktna, modularna konfiguracija se dobro ujema tudi s strogimi prostorskimi omejitvami, ki so pogoste v obratih za pakiranje polprevodnikov in čistih prostorih.

Pametna izbira infrastrukture za napredne polprevodniške obrate

Ker industrija teži k večji gostoti integracije in zahtevnejšim standardom testiranja, kriogena infrastruktura ni več drugotnega pomena. Proizvajalci polprevodnikov, ki vlagajo v vakuumsko izolirane cevi HL Cryogenic, HL Cryogenicvakuumsko obložena cev, ločilo, ventilinventilska škatlasistemi pridobijo merljive prednosti v učinkovitosti, varnosti in dolgoročnem nadzoru stroškov.

V konkurenčnih proizvodnih okoljih lahko stabilnost kriogenega omrežja na koncu vpliva na donosnost izdelka, življenjsko dobo opreme in operativno doslednost, zaradi česar so rešitve HL Cryogenic bistveni del polprevodniške infrastrukture.