Novice - Projekt Chip MBE je bil zaključen v preteklih letih

Tehnologija

Epitaksija molekularnega žarka ali MBE je nova tehnika za gojenje visokokakovostnih tankih filmov kristalov na kristalnih podlagah. V ultra visokih vakuumskih pogojih je s ogrevalnimi peči opremljen z vsemi vrstami potrebnih komponent in ustvarjanje pare, skozi luknje, ki nastanejo po kolimirajočem atomskem ali molekularnem žarku, neposredna vbrizgavanje na ustrezno temperaturo posameznega kristalnega substrata, ki nadzoruje molekularni žarek Skeniranje substrata hkrati lahko molekule ali atome v plasteh kristalne poravnave naredi, da tvori tanek film na podlagi "rasti".

Za normalno delovanje opreme MBE je treba visoko čistost, nizki tlak in ultra čisti tekoči dušik neprekinjeno in stabilno prevažati do hladilne komore opreme. Na splošno se rezervoar, ki zagotavlja tekoči dušik, izhodni tlak med 0,3MPa in 0,8MPa. V likvidni dušik pri -196 ℃ se med prevozom cevovoda zlahka izhlapi v dušik. Ko bo tekoči dušik z razmerjem plina-tekočine približno 1: 700 uplinjen v cevovodu, bo zasedel veliko količino pretoka tekočega dušika in zmanjšal normalen pretok na koncu cevi tekočega dušika. Poleg tega v rezervoarju za shranjevanje tekočega dušika verjetno obstajajo naplavine, ki niso bili očiščeni. V tekočem dušikovem cevovodu bo obstoj mokrega zraka privedel tudi do nastajanja ledene žlindre. Če se te nečistoče odvajajo v opremo, bo to povzročilo nepredvidljivo škodo na opremi.

Zato se tekoči dušik v zunanjem skladišču prevaža v opremo MBE v delavnici brez prahu z visoko učinkovitostjo, stabilnostjo in čiščenjem, in nizkega tlaka, brez dušika, brez nečistoč, 24 ur neprekinjeni, tak sistem prevoza je kvalificiran izdelek.

Ujemanje opreme MBE

Od leta 2005 kriogena oprema HL (HL CRYO) optimizira in izboljšuje ta sistem in sodeluje z mednarodnimi proizvajalci opreme MBE. Proizvajalci opreme MBE, vključno z DCA, Reber, imajo sodelovanje z našim podjetjem. Proizvajalci opreme MBE, vključno z DCA in Reber, so sodelovali v velikem številu projektov.

Riber SA je vodilni svetovni ponudnik izdelkov in povezanih storitev molekularnih žarkov (MBE) za sestavljene polprevodniške raziskave in industrijske aplikacije. Naprava RIBER MBE lahko na podlago položi zelo tanke plasti materiala z zelo visokimi kontrolami. Vakuumska oprema kriogene opreme HL (HL CRYO) je opremljena z Riber SA Največja oprema je RIBER 6000, najmanjša pa kompaktna 21. Je v dobrem stanju in jo prepoznajo kupci.

DCA je vodilni na svetu oksid MBE. Od leta 1993 je bil izveden sistematični razvoj tehnik oksidacije, antioksidantno ogrevanje substrata in antioksidanti. Zaradi tega so mnogi vodilni laboratoriji izbrali tehnologijo DCA oksida. Po vsem svetu se uporabljajo sestavljeni polprevodniški sistemi MBE. VJ tekočini dušikovni sistem kriogene opreme HL (HL CRYO) in MBE Oprema več modelov DCA imata ujemajočo se izkušnje pri številnih projektih, kot so model P600, R450, SGC800 itd.