Novice - Projekt Chip MBE, zaključen v preteklih letih

tehnologija

Molekularno žarkovna epitaksija ali MBE je nova tehnika za gojenje visokokakovostnih tankih filmov kristalov na kristalnih substratih. V pogojih ultra visokega vakuuma je peč za ogrevanje opremljena z vsemi vrstami potrebnih komponent in ustvarja paro, skozi luknje, ki nastanejo po kolimiranju žarka atomskega ali molekularnega žarka, neposredno vbrizgavanje na ustrezno temperaturo monokristalnega substrata, nadzor molekularnega žarka do istočasno skenira substrat, lahko povzroči, da molekule ali atomi v plasteh za poravnavo kristalov tvorijo tanek film na substratu "rast".

Za normalno delovanje opreme MBE je treba tekoči dušik visoke čistosti, nizkega tlaka in izjemno čist tekoči dušik nenehno in stabilno prenašati v hladilno komoro opreme. Na splošno ima rezervoar, ki zagotavlja tekoči dušik, izhodni tlak med 0,3 MPa in 0,8 MPa. Tekoči dušik pri -196 ℃ zlahka izhlapi v dušik med transportom po cevovodu. Ko je tekoči dušik z razmerjem plin-tekočina približno 1:700 uplinjen v cevovodu, bo zasedel veliko količino prostora za pretok tekočega dušika in zmanjšal običajni pretok na koncu cevovoda za tekoči dušik. Poleg tega so v posodi za shranjevanje tekočega dušika verjetno ostanki, ki niso bili očiščeni. V cevovodu za tekoči dušik bo obstoj mokrega zraka povzročil tudi nastajanje ledene žlindre. Če te nečistoče pridejo v opremo, bo to povzročilo nepredvidljivo škodo na opremi.

Zato se tekoči dušik v zunanjem skladiščnem rezervoarju transportira do opreme MBE v delavnici brez prahu z visoko učinkovitostjo, stabilnostjo in čistostjo ter nizkim tlakom, brez dušika, brez nečistoč, 24 ur neprekinjeno, tak sistem za nadzor transporta je kvalificiran izdelek.

Ustrezna oprema MBE

Od leta 2005 HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimizira in izboljšuje ta sistem ter sodeluje z mednarodnimi proizvajalci MBE opreme. Proizvajalci opreme MBE, vključno z DCA, REBER, imajo z našim podjetjem kooperativne odnose. Proizvajalci opreme MBE, vključno z DCA in REBER, so sodelovali pri številnih projektih.

Riber SA je vodilni svetovni ponudnik izdelkov za epitaksijo z molekularnim žarkom (MBE) in povezanih storitev za raziskave sestavljenih polprevodnikov in industrijske aplikacije. Naprava Riber MBE lahko nanese zelo tanke plasti materiala na podlago, z zelo visokimi kontrolami. Vakuumska oprema HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) je opremljena z Riber SA. Največja oprema je Riber 6000, najmanjša pa Compact 21. Je v dobrem stanju in so jo kupci prepoznali.

DCA je vodilni oksidni MBE na svetu. Od leta 1993 poteka sistematičen razvoj oksidacijskih tehnik, antioksidantnega ogrevanja substrata in virov antioksidantov. Iz tega razloga so številni vodilni laboratoriji izbrali tehnologijo DCA oksida. Kompozitni polprevodniški sistemi MBE se uporabljajo po vsem svetu. Krožni sistem VJ s tekočim dušikom kriogene opreme HL (HL CRYO) in oprema MBE več modelov DCA imata ujemajoče se izkušnje pri številnih projektih, kot so modeli P600, R450, SGC800 itd.