Novice - Projekt Chip MBE zaključen v preteklih letih

Tehnologija

Molekularna epitaksija z žarkom ali MBE je nova tehnika za gojenje visokokakovostnih tankih kristalnih filmov na kristalnih substratih. V ultra visokem vakuumu se s pomočjo ogrevalne peči, opremljene z vsemi potrebnimi komponentami, ustvari para. Skozi luknje, ki nastanejo po kolimaciji atomskega ali molekularnega žarka, se neposredno vbrizga v monokristalni substrat na ustrezno temperaturo, hkrati pa se molekularni žarek skenira v substrat, kar lahko povzroči, da molekule ali atomi v kristalnih plasteh poravnajo in tvorijo tanek film na substratu.

Za normalno delovanje opreme MBE je potreben visoko čist, nizkotlačni in ultra čist tekoči dušik, ki se neprekinjeno in stabilno prenaša v hladilno komoro opreme. Na splošno ima rezervoar, ki zagotavlja tekoči dušik, izhodni tlak med 0,3 MPa in 0,8 MPa. Tekoči dušik pri -196 ℃ se med transportom po cevovodu zlahka upari v dušik. Ko se tekoči dušik z razmerjem plin-tekočina približno 1:700 uplini v cevovodu, bo zasedel veliko prostora za pretok tekočega dušika in zmanjšal normalen pretok na koncu cevovoda za tekoči dušik. Poleg tega se v rezervoarju za shranjevanje tekočega dušika verjetno nahajajo neočiščeni delci. V cevovodu za tekoči dušik bo prisotnost vlažnega zraka povzročila tudi nastanek ledene žlindre. Če se te nečistoče izpustijo v opremo, bo to povzročilo nepredvidljivo škodo na opremi.

Zato se tekoči dušik v zunanjem rezervoarju za shranjevanje z visoko učinkovitostjo, stabilnostjo in čistočo prevaža do opreme MBE v delavnici brez prahu, nizek tlak, brez dušika, brez nečistoč, 24 ur neprekinjeno, zato je takšen sistem za nadzor transporta usposobljen izdelek.

Ustrezna oprema MBE

Podjetje HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) od leta 2005 optimizira in izboljšuje ta sistem ter sodeluje z mednarodnimi proizvajalci opreme MBE. Proizvajalci opreme MBE, vključno z DCA in REBER, imajo z našim podjetjem partnerske odnose. Proizvajalci opreme MBE, vključno z DCA in REBER, so sodelovali pri številnih projektih.

Riber SA je vodilni svetovni ponudnik izdelkov za molekularno žarkovno epitaksijo (MBE) in sorodnih storitev za raziskave sestavljenih polprevodnikov in industrijske aplikacije. Naprava Riber MBE lahko nanaša zelo tanke plasti materiala na substrat z zelo visokim nadzorom. Vakuumska oprema podjetja HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) je opremljena z napravo Riber SA. Največja oprema je Riber 6000, najmanjša pa Compact 21. Je v dobrem stanju in so jo stranke pohvalile.

DCA je vodilna svetovna oksidna MBE. Od leta 1993 se izvaja sistematičen razvoj oksidacijskih tehnik, segrevanja antioksidativnih substratov in virov antioksidantov. Zaradi tega so se številni vodilni laboratoriji odločili za oksidno tehnologijo DCA. Kompozitni polprevodniški MBE sistemi se uporabljajo po vsem svetu. Sistem za kroženje tekočega dušika VJ podjetja HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) in oprema MBE več modelov DCA imata ustrezne izkušnje v številnih projektih, kot so modeli P600, R450, SGC800 itd.