Hladilni sistemi s tekočim dušikom se pogosto uporabljajo v industriji polprevodnikov in čipov, vključno s procesom,
- Tehnologija epitaksije z molekularnim žarkom (MBE)
- Test čipa po paketu COB
Sorodni izdelki
Serija vakuumsko izoliranih cevi
Vakuumsko izolirana serija gibkih cevi
Sistem dinamične vakuumske črpalke
Serija vakuumsko izoliranih faznih separatorjev
Serija vakuumsko izoliranih ventilov
Podporna oprema za cevni sistem
EPITAKSIJA MOLEKULARNEGA ŽARKA
Tehnologija epitaksije z molekularnim žarkom (MBE) je bila razvita v petdesetih letih 20. stoletja za pripravo polprevodniških tankoslojnih materialov s tehnologijo vakuumskega izparevanja. Z razvojem tehnologije ultravisokega vakuuma se je uporaba tehnologije razširila na področje znanosti o polprevodnikih.
HL je opazil povpraševanje po hladilnem sistemu s tekočim dušikom MBE, organizirano tehnično hrbtenico za uspešen razvoj posebnega sistema za hlajenje s tekočim dušikom MBE za tehnologijo MBE in celotnega sklopa vakuumsko izoliranega cevnega sistema, ki se uporablja v številnih podjetjih, univerzah in raziskovalnih inštitutih. .
Pogosti problemi industrije polprevodnikov in čipov vključujejo:
- Tlak tekočega dušika v terminalsko opremo (MBE). Preprečite, da bi zaradi tlačne preobremenitve poškodovali terminalsko opremo (MBE).
- Več krmilnikov za vstop in izhod kriogene tekočine
- Temperatura tekočega dušika v terminalsko opremo
- Razumna količina emisij kriogenih plinov
- (Samodejno) preklapljanje glavnih in stranskih vodov
- Prilagoditev (zmanjšanje) tlaka in stabilnost VIP
- Čiščenje morebitnih nečistoč in ostankov ledu iz rezervoarja
- Čas polnjenja terminalske tekoče opreme
- Predhodno hlajenje cevovoda
- Odpornost na tekočino v sistemu VIP
- Izguba nadzora tekočega dušika med prekinjenim delovanjem sistema
Vakuumsko izolirana cev (VIP) družbe HL je izdelana v skladu s standardom ASME B31.3 za tlačne cevi. Inženirske izkušnje in sposobnost nadzora kakovosti za zagotavljanje učinkovitosti in stroškovne učinkovitosti strankinega obrata.
REŠITVE
HL Cryogenic Equipment strankam zagotavlja vakuumsko izoliran cevni sistem za izpolnjevanje zahtev in pogojev industrije polprevodnikov in čipov:
1. Sistem vodenja kakovosti: ASME B31.3 Kodeks tlačnih cevi.
2. Posebni fazni separator z več vhodi in izstopi za kriogeno tekočino s funkcijo samodejnega nadzora izpolnjuje zahteve glede emisij plinov, recikliranega tekočega dušika in temperature tekočega dušika.
3. Ustrezna in pravočasna zasnova izpušnih plinov zagotavlja, da terminalska oprema vedno deluje znotraj načrtovane vrednosti tlaka.
4. Pregrada za plin in tekočino je nameščena v navpični cevi VI na koncu cevovoda VI. Pregrada plin-tekočina uporablja princip plinskega tesnila za blokiranje toplote od konca cevovoda VI v cevovod VI in učinkovito zmanjša izgubo tekočega dušika med prekinjenim in občasnim delovanjem sistema.
5.VI Cevovodi, ki jih krmili serija vakuumsko izoliranih ventilov (VIV): vključno z vakuumsko izoliranim (pnevmatskim) zapornim ventilom, vakuumsko izoliranim kontrolnim ventilom, vakuumsko izoliranim regulacijskim ventilom itd. Različne vrste VIV je mogoče modularno kombinirati za nadzor VIP kot potrebno. VIV je integriran z VIP montažo pri proizvajalcu, brez izolirane obdelave na kraju samem. Tesnilno enoto VIV je mogoče enostavno zamenjati. (HL sprejema blagovno znamko kriogenih ventilov, ki jo določijo stranke, nato pa HL izdeluje vakuumsko izolirane ventile. Nekaterih znamk in modelov ventilov morda ne bo mogoče izdelati v vakuumsko izolirane ventile.)
6. Čistost, če obstajajo dodatne zahteve za čistočo površine zračnice. Predlagamo, da stranke kot notranje cevi VIP izberejo cevi iz nerjavečega jekla BA ali EP, da dodatno zmanjšajo razlitje iz nerjavečega jekla.
7.Vakuumsko izoliran filter: Očistite morebitne nečistoče in ostanke ledu iz rezervoarja.
8. Po nekajdnevni ali daljši zaustavitvi ali vzdrževanju je zelo potrebno predhodno ohladiti cevovod VI in terminalsko opremo, preden vstopi kriogena tekočina, da se izognete ledeni žlindri, potem ko kriogena tekočina neposredno vstopi v cevovod VI in terminalsko opremo. Pri načrtovanju je treba upoštevati funkcijo predhlajenja. Zagotavlja boljšo zaščito terminalske opreme in podporne opreme za cevi VI, kot so ventili.
9. Primerno za dinamične in statične vakuumsko izolirane (fleksibilne) cevne sisteme.
10.Dinamični (fleksibilni) cevni sistem z vakuumsko izolacijo: sestavljen je iz prožnih cevi VI in/ali cevi VI, premostitvenih cevi, vakuumsko izoliranega sistema ventilov, faznih separatorjev in sistema dinamične vakuumske črpalke (vključno z vakuumskimi črpalkami, elektromagnetnimi ventili in vakuumskimi merilniki itd. ). Dolžino posamezne gibljive cevi VI je mogoče prilagoditi glede na zahteve uporabnika.
11. Različne vrste povezav: Izberete lahko vrsto vakuumske bajonetne povezave (VBC) in varjeno povezavo. Tip VBC ne potrebuje izolirane obdelave na kraju samem.
