Tekoči hladilni sistemi dušika se pogosto uporabljajo v industriji polprevodnikov in čipov, vključno s postopkom,
- Tehnologija epitaksije molekularnega žarka (MBE)
- Test čipa po paketu COB
Sorodni izdelki
Serija vakuumske izolirane cevi
Se Vacuum izolirane serije fleksibilnih cevi
Dinamični sistem vakuumskih črpalk
Se Vacuum izolirane serije faznih ločevalcev
Serija vakuumskih izoliranih ventilov
Oprema za podporo cevovodov
Epitaksija molekularnega žarka
Tehnologija epitaksije molekularne žarka (MBE) je bila razvita v petdesetih letih prejšnjega stoletja za pripravo polprevodniških tankih filmskih materialov s pomočjo tehnologije vakuumskega izhlapevanja. Z razvojem ultra visoke vakuumske tehnologije je bila uporaba tehnologije razširjena na področje polprevodniških znanosti.
HL je opazil povpraševanje po sistemu hladilnega dušika MBE, organizirano tehnično hrbtenico za uspešno razvijanje posebnega sistema za hlajenje tekočine MBE za tehnologijo MBE in celoten nabor vakuumskih izoliranih cevovodov, ki se uporablja v številnih podjetjih, univerzah in raziskovalnih inštitutih .
Pogosti problemi industrije polprevodnikov in čipov vključujejo,
- Tlak tekočega dušika v opremo terminalne (MBE). Preprečite preobremenitev tlaka zaradi poškodbe terminalne (MBE) opreme.
- Več kriogenih krmilnikov tekočine in odtoka
- Temperatura tekočega dušika v terminalno opremo
- Razumna količina emisij kriogenih plinov
- (Samodejno) preklapljanje glavnih in vejnih linij
- Prilagoditev tlaka (zmanjšanje) in stabilnost VIP
- Čiščenje možnih nečistoč in ostankov ledu iz rezervoarja
- Čas polnjenja terminalne tekoče opreme
- Prekolovanje cevovoda
- Odpornost tekočine v VIP sistemu
- Kontrolna izguba tekočega dušika med prekinitvijo storitve sistema
HL -jeva vakuumska izolirana cev (VIP) je vgrajena tako, da je standard ASME B31.3 Tlačna cevovodna koda. Inženirske izkušnje in sposobnost nadzora kakovosti za zagotavljanje učinkovitosti in stroškovne učinkovitosti kupčeve naprave.
Rešitve
HL kriogena oprema omogoča strankam sistema cevovodov, izoliranega z vakuumom, da izpolnjujejo zahteve in pogoje industrije polprevodnikov in čipov:
1. Kvalitetna upravljanje sistema: ASME B31.3 Tlačni cevovod.
2. Posebni fazni separator z več kriogenimi tekočimi dovod in iztok s samodejno kontrolno funkcijo izpolnjuje zahtevo po emisiji plina, recikliranega tekočega dušika in temperature tekočega dušika.
3. Ustrezna in pravočasna zasnova izpušnih plinov zagotavlja, da terminalna oprema vedno deluje znotraj zasnovane vrednosti tlaka.
4. Plinsko-tekočina je nameščena v navpični VI cevi na koncu VI PIPELINA. Plinsko-tekočina pregrada uporablja načelo plinskega tesnila, da blokira toploto s konca VI cevovoda v VI cevi in učinkovito zmanjšuje izgubo tekočega dušika med prekinitvijo in prekinitvijo sistema.
5.VI cevovodi, ki jih nadzira vakuumska izolirana ventila (VIV) serija: vključno z vakuumsko izoliranim (pnevmatskim) zaklopnim ventilom, vakuumsko izoliranim ventilom, vakuumskim izoliranim ventilom za regulacijo itd. potrebno. VIV je v proizvajalcu integriran z VIP montaže, brez izoliranega zdravljenja na kraju samem. Tesnilno enoto VIV lahko enostavno zamenjate. (HL sprejme blagovno znamko kriogene ventila, ki jo imenujejo kupci, nato pa HL naredi vakuumske izolirane ventile. Nekatere blagovne znamke in modeli ventilov morda ne bodo mogli narediti v vakuumske izolirane ventile.)
6. Če obstajajo dodatne zahteve za čistočo na površini notranje cevi. Predlagamo, da kupci izberejo BA ali EP cevi iz nerjavečega jekla kot VIP notranje cevi za nadaljnje zmanjšanje razlitja iz nerjavečega jekla.
7. VACUUM izoliran filter: Očistite možne nečistoče in ostanke ledu iz rezervoarja.
8. Po nekaj dneh ali daljšem zaustavitvi ali vzdrževanju je zelo potrebno predhodno opraviti cevovodi in terminalno opremo, preden se vnese kriogena tekočina, da se izognemo ledeni žlindri, potem ko kriogena tekočina neposredno vstopi v vi cev in terminalno opremo. Funkcijo prednastavitve je treba upoštevati pri oblikovanju. Zagotavlja boljšo zaščito za opremo terminalne opreme in VI cevi za podporno opremo, kot so ventili.
9.Uit za dinamični in statični vakuumski (fleksibilen) cevovodni sistem.
10.Dinamični vakuumski izoliran (prilagodljiv) cevovodni sistem: Sestavljen iz VI prilagodljivih cevi in/ali VI cevi, skakalnih cevi, vakuumskega izoliranega ventila, faznih ločevalcev in dinamičnih vakuumskih črpalk (vključno z vakuumskimi črpalkami, magnetnimi ventili in merilniki vakuum itd. ). Dolžina enojne VI prilagodljive cevi je mogoče prilagoditi glede na zahteve uporabnikov.
11. Izbrane lahko izberete vrsto povezave z bajonetom (VBC) vakuumsko povezavo in varjeno povezavo. Vrsta VBC ne potrebuje zdravljenja na kraju samem.
