Sistemi za hlajenje s tekočim dušikom se pogosto uporabljajo v industriji polprevodnikov in čipov, vključno s postopkom,
- Tehnologija molekularne žarkovne epitaksije (MBE)
- Test čipa po paketu COB
Sorodni izdelki
Serija vakuumsko izoliranih cevi
Serija vakuumsko izoliranih fleksibilnih cevi
Dinamični sistem vakuumske črpalke
Serija vakuumsko izoliranih faznih ločevalnikov
Serija vakuumsko izoliranih ventilov
Oprema za podporo cevovodnih sistemov
MOLEKULARNA ŽARKOVNA EPITAKSIJA
Tehnologija molekularne žarkovne epitaksije (MBE) je bila razvita v petdesetih letih prejšnjega stoletja za pripravo polprevodniških tankoplastnih materialov z uporabo tehnologije vakuumskega izhlapevanja. Z razvojem tehnologije ultra visokega vakuuma se je uporaba tehnologije razširila na področje polprevodniške znanosti.
HL je opazil povpraševanje po hladilnem sistemu s tekočim dušikom MBE in organiziral tehnično ogrodje za uspešen razvoj posebnega hladilnega sistema s tekočim dušikom MBE za tehnologijo MBE ter celotnega sistema vakuumsko izoliranih cevovodov, ki se uporablja v številnih podjetjih, univerzah in raziskovalnih inštitutih.
Pogoste težave industrije polprevodnikov in čipov vključujejo:
- Tlak tekočega dušika v terminalski (MBE) opremi. Preprečitev poškodb terminalske (MBE) opreme zaradi preobremenitve tlaka.
- Več krmilnikov za dovod in odvod kriogenih tekočin
- Temperatura tekočega dušika v terminalni opremi
- Razumna količina kriogenih emisij plinov
- (Samodejno) preklapljanje glavnih in stranskih vodov
- Prilagajanje (zmanjševanje) tlaka in stabilnost VIP-a
- Čiščenje morebitnih nečistoč in ostankov ledu iz rezervoarja
- Čas polnjenja opreme za tekočine v terminalu
- Predhlajenje cevovoda
- Odpornost na tekočine v VIP sistemu
- Nadzor izgube tekočega dušika med prekinjenim delovanjem sistema
HL-jeva vakuumsko izolirana cev (VIP) je izdelana v skladu s standardom ASME B31.3 za tlačne cevi. Inženirske izkušnje in sposobnost nadzora kakovosti zagotavljajo učinkovitost in stroškovno učinkovitost obrata stranke.
REŠITVE
HL Cryogenic Equipment svojim strankam zagotavlja vakuumsko izoliran cevni sistem, ki izpolnjuje zahteve in pogoje industrije polprevodnikov in čipov:
1. Sistem vodenja kakovosti: ASME B31.3 Kodeks tlačnih cevi.
2. Posebni fazni ločevalnik z več kriogenimi vstopnimi in izstopnimi odprtinami za tekočino s funkcijo samodejnega krmiljenja izpolnjuje zahteve glede emisij plinov, recikliranega tekočega dušika in temperature tekočega dušika.
3. Ustrezna in pravočasna zasnova izpušnih plinov zagotavlja, da terminalna oprema vedno deluje znotraj načrtovane vrednosti tlaka.
4. Plinsko-tekočinska pregrada je nameščena v navpični cevi VI na koncu cevovoda VI. Plinsko-tekočinska pregrada uporablja načelo plinskega tesnila za blokiranje toplote s konca cevovoda VI v cevovod VI in učinkovito zmanjša izgubo tekočega dušika med prekinjenim in občasnim delovanjem sistema.
5. VI Cevovodi, ki jih krmili serija vakuumsko izoliranih ventilov (VIV): Vključno z vakuumsko izoliranim (pnevmatskim) zapornim ventilom, vakuumsko izoliranim povratnim ventilom, vakuumsko izoliranim regulacijskim ventilom itd. Različne vrste VIV je mogoče modularno kombinirati za krmiljenje VIP po potrebi. VIV je integriran s predizdelavo VIP v proizvajalcu, brez izolacijske obdelave na kraju samem. Tesnilo VIV je mogoče enostavno zamenjati. (HL sprejema znamko kriogenih ventilov, ki jo določijo stranke, nato pa izdeluje vakuumsko izolirane ventile. Nekaterih znamk in modelov ventilov morda ni mogoče izdelati v vakuumsko izolirane ventile.)
6. Čistoča, če obstajajo dodatne zahteve glede čistoče površine notranje cevi. Strankam se priporoča, da kot notranje cevi VIP izberejo cevi iz nerjavečega jekla BA ali EP, da se še dodatno zmanjša razlitje nerjavečega jekla.
7. Vakuumsko izoliran filter: Očistite morebitne nečistoče in ostanke ledu iz rezervoarja.
8. Po nekaj dneh ali daljših izpadih ali vzdrževanju je nujno predhodno ohladiti cevovode VI in terminalno opremo, preden vanje vstopi kriogena tekočina, da se prepreči nabiranje ledu po neposrednem vstopu kriogene tekočine v cevovode VI in terminalno opremo. Funkcijo predhodnega hlajenja je treba upoštevati pri načrtovanju. Zagotavlja boljšo zaščito terminalne opreme in podporne opreme cevi VI, kot so ventili.
9. Primerno za dinamične in statične vakuumsko izolirane (fleksibilne) cevne sisteme.
10. Dinamični vakuumsko izolirani (fleksibilni) cevovodni sistem: Sestavljen je iz vakuumsko izoliranih gibkih cevi in/ali cevi VI, premostitvenih cevi, sistema vakuumsko izoliranih ventilov, faznih ločil in sistema dinamične vakuumske črpalke (vključno z vakuumskimi črpalkami, magnetnimi ventili in vakuumskimi merilniki itd.). Dolžino posamezne vakuumsko izolirane gibke cevi VI je mogoče prilagoditi zahtevam uporabnika.
11. Različne vrste priključkov: Izbirate lahko med vakuumskim bajonetnim priključkom (VBC) in varjenim priključkom. Pri priključku VBC ni potrebna izolacijska obdelava na kraju samem.
