Kratek opis vakuumsko izoliranega cevnega sistema v kriogeni uporabi v industriji čipov

Izdelava in načrtovanje vakuumsko izoliranega cevnega sistema za transport tekočega dušika je odgovornost dobavitelja.Za ta projekt, če dobavitelj nima pogojev za meritve na kraju samem, mora hiša zagotoviti skice smeri cevovoda.Nato bo dobavitelj zasnoval cevni sistem VI za scenarije s tekočim dušikom.

Dobavitelj dokonča celotno zasnovo cevovodnega sistema s strani izkušenih oblikovalcev v skladu z risbami, parametri opreme, pogoji na lokaciji, značilnostmi tekočega dušika in drugimi dejavniki, ki jih zagotovi naročnik.

Vsebina zasnove vključuje vrsto sistemskega pribora, določitev materiala in specifikacije notranjih in zunanjih cevi, zasnovo izolacijske sheme, shemo montažnih odsekov, obliko povezave med odseki cevi, nosilec notranje cevi. , število in položaj vakuumskega ventila, odstranitev plinskega tesnila, zahteve glede kriogene tekočine terminalske opreme itd. To shemo mora pred proizvodnjo preveriti strokovno osebje naročnika.

Vsebina načrtovanja vakuumsko izoliranega cevovodnega sistema je široka, tukaj je HASS aplikacij in opreme MBE pri nekaterih pogostih težavah, preprost klepet.

1 2

VI Cevovodi

Rezervoar za shranjevanje tekočega dušika je običajno oddaljen od opreme HASS Application ali MBE.Medtem ko vakuumsko izolirana cev vstopa v stavbo v zaprtih prostorih, se ji je treba razumno izogibati glede na razporeditev prostora v stavbi in lokacijo terenske cevi in ​​zračnega kanala.Zato je transport tekočega dušika do opreme vsaj na stotine metrov cevi.

Ker sam stisnjen tekoči dušik vsebuje veliko količino plina, skupaj z razdaljo transporta, bo celo vakuumska adiabatna cev proizvedla veliko količino dušika v procesu transporta.Če se dušik ne izprazni ali je emisija prenizka, da bi izpolnila zahteve, bo to povzročilo upor plina in povzročilo slab pretok tekočega dušika, kar bo povzročilo veliko zmanjšanje pretoka.

Če je pretok nezadosten, temperature v komori s tekočim dušikom opreme ni mogoče nadzorovati, kar lahko sčasoma privede do poškodb opreme ali kakovosti izdelka.

Zato je treba izračunati količino tekočega dušika, ki ga porabi terminalska oprema (HASS Application ali MBE oprema).Hkrati so specifikacije cevovoda določene glede na dolžino in smer cevovoda.

Začenši z rezervoarjem za shranjevanje tekočega dušika, če je glavni cevovod vakuumsko izolirane cevi/cevi DN50 (notranji premer φ50 mm), je njen odcep VI cev/cev DN25 (notranji premer φ25 mm) in cev med odcepom in priključna oprema je DN15 (notranji premer φ15 mm).Drugi priključki za cevni sistem VI, vključno s faznim separatorjem, razplinjevalnikom, avtomatskim odzračevalnikom plina, VI/kriogenim (pnevmatskim) zapornim ventilom, VI pnevmatskim ventilom za regulacijo pretoka, VI/kriogenim kontrolnim ventilom, VI filtrom, varnostnim razbremenilnim ventilom, sistemom za odzračevanje, in vakuumsko črpalko itd.

3

Posebni fazni separator MBE

Vsak separator faz MBE s posebnim normalnim tlakom ima naslednje funkcije:

1. Senzor nivoja tekočine in avtomatski sistem za nadzor nivoja tekočine, ki se takoj prikaže prek električne krmilne omarice.

2. Funkcija zmanjšanja tlaka: dovod tekočine v separator je opremljen s pomožnim sistemom separatorja, ki zagotavlja tlak tekočega dušika 3-4 bare v glavni cevi.Ko vstopate v fazni separator, enakomerno zmanjšujte tlak na ≤ 1 bar.

3. Regulacija vstopnega toka tekočine: sistem za nadzor plovnosti je nameščen znotraj faznega separatorja.Njegova funkcija je samodejno prilagajanje količine vnosa tekočine, ko se poraba tekočega dušika poveča ali zmanjša.Prednost tega je zmanjšati močno nihanje tlaka, ki ga povzroči vstop velike količine tekočega dušika, ko se vstopni pnevmatski ventil odpre, in preprečiti nadtlak.

4. Funkcija medpomnilnika, učinkovita prostornina znotraj separatorja zagotavlja največji trenutni pretok naprave.

5. Sistem za odzračevanje: pretok zraka in vodna para v separatorju pred prehodom tekočega dušika in izpust tekočega dušika v separatorju po prehodu tekočega dušika.

6. Funkcija samodejne razbremenitve nadtlaka: oprema, ko gre na začetku skozi tekoči dušik ali v posebnih okoliščinah, povzroči povečanje uplinjanja tekočega dušika, kar vodi do trenutnega nadtlaka celotnega sistema.Naš fazni separator je opremljen z varnostnim razbremenilnim ventilom in skupino varnostnih razbremenilnih ventilov, ki lahko učinkoviteje zagotovita stabilnost tlaka v separatorju in preprečita poškodbe opreme MBE zaradi previsokega tlaka.

7. Električna krmilna omarica, prikaz nivoja tekočine in vrednosti tlaka v realnem času, lahko nastavi nivo tekočine v separatorju in tekoči dušik v količino kontrolnega razmerja.Ob istem času.V nujnih primerih ročno zaviranje separatorja plina in tekočine v kontrolni ventil za tekočino, da se zagotovi varnost osebja in opreme na mestu.

4

Večjedrni razplinjevalec za aplikacije HASS

Rezervoar za shranjevanje tekočega dušika na prostem vsebuje veliko količino dušika, ker je shranjen in transportiran pod pritiskom.V tem sistemu je transportna razdalja po cevovodu daljša, več je kolen in večji upor, kar bo povzročilo delno uplinjanje tekočega dušika.Vakuumsko izolirana cev je trenutno najboljši način za transport tekočega dušika, vendar je uhajanje toplote neizogibno, kar bo povzročilo tudi delno uplinjanje tekočega dušika.Če povzamemo, tekoči dušik vsebuje veliko količino dušika, kar vodi do ustvarjanja plinskega upora, zaradi česar pretok tekočega dušika ni gladek.

Izpušna oprema na vakuumsko izolirani cevi, če ni izpušne naprave ali nezadostna prostornina izpušnih plinov, bo povzročila odpornost na plin.Ko se ustvari plinski upor, se bo zmogljivost prenosa tekočega dušika močno zmanjšala.

Večjedrni razplinjevalec, ki ga je zasnovalo izključno naše podjetje, lahko v največji možni meri zagotovi izpust dušika iz glavne cevi za tekoči dušik in prepreči nastanek plinskega upora.Večjedrni razplinjevalec ima dovolj notranje prostornine, lahko igra vlogo vmesnega rezervoarja za shranjevanje, lahko učinkovito zadovolji potrebe največjega trenutnega pretoka cevovoda za raztopino.

Edinstvena patentirana večjedrna struktura, učinkovitejša izpušna zmogljivost kot naše druge vrste separatorjev.

5
Če nadaljujemo s prejšnjim člankom, obstaja nekaj vprašanj, ki jih je treba upoštevati pri načrtovanju rešitev za vakuumsko izoliran cevni sistem za kriogene aplikacije v industriji čipov.

1

Dve vrsti vakuumsko izoliranih cevnih sistemov

Obstajata dve vrsti vakuumsko izoliranih cevnih sistemov: statični VI sistem in dinamični vakuumski črpalni sistem.

Statični sistem VI pomeni, da se vsaka cev, potem ko je izdelana v tovarni, vakuumira do določene stopnje vakuuma na črpalni enoti in zapre.Pri namestitvi na terenu in danem v uporabo določenem času ni treba ponovno evakuirati na lokacijo.

Prednost sistema Static VI so nizki stroški vzdrževanja.Ko je cevni sistem v uporabi, je nekaj let kasneje potrebno vzdrževanje.Ta vakuumski sistem je primeren za sisteme, ki ne zahtevajo visokih hladilnih zahtev in odprtih prostorov za vzdrževanje na kraju samem.

Pomanjkljivost statičnega VI sistema je, da se vakuum s časom zmanjšuje.Ker vsi materiali sproščajo pline v sledovih ves čas, kar je odvisno od fizikalnih lastnosti materiala.Material v plašču cevi VI lahko zmanjša količino plina, ki se sprosti v procesu, vendar ga ni mogoče popolnoma izolirati.To bo povzročilo vakuum zaprtega vakuumskega okolja, ki bo nižji in nižji, vakuumska izolacijska cev bo postopoma oslabila sposobnost hlajenja.

Sistem dinamičnega vakuumskega črpanja pomeni, da se po izdelavi in ​​oblikovanju cevi cev še vedno izprazni v tovarni v skladu s postopkom odkrivanja puščanja, vendar se vakuum pred dostavo ne zapre.Po končani montaži na terenu se vakuumski vmesni sloji vseh cevi povežejo v eno ali več enot z nerjavečimi cevmi, za vakuumiranje cevi na terenu pa se uporabi manjša namenska vakuumska črpalka.Posebna vakuumska črpalka ima avtomatski sistem za spremljanje vakuuma v vsakem trenutku in vakuum po potrebi.Sistem deluje 24 ur na dan.

Pomanjkljivost sistema dinamičnega vakuumskega črpanja je, da je treba vakuum vzdrževati z elektriko.

Prednost sistema dinamičnega vakuumskega črpanja je, da je stopnja vakuuma zelo stabilna.Prednostno se uporablja v notranjem okolju in zahtevah vakuumske zmogljivosti zelo visokih projektov.

Naš sistem dinamičnega vakuumskega črpanja, celotna mobilna integrirana posebna vakuumska črpalka za zagotavljanje opreme za vakuumiranje, priročna in razumna postavitev za zagotavljanje učinka vakuuma, kakovost vakuumskih dodatkov za zagotavljanje kakovosti vakuuma.

Za projekt MBE, ker je oprema v čisti sobi in oprema deluje dolgo časa.Večina vakuumsko izoliranega cevnega sistema je v zaprtem prostoru na vmesnem sloju čiste sobe.Vakuumsko vzdrževanje cevnega sistema v prihodnje ni mogoče izvesti.To bo resno vplivalo na dolgoročno delovanje sistema.Kot rezultat, projekt MBE uporablja skoraj vse dinamične vakuumske črpalne sisteme.

2

Sistem za razbremenitev tlaka

Sistem za razbremenitev tlaka glavnega voda sprejme skupino varnostnih razbremenilnih ventilov.Skupina varnostnih razbremenilnih ventilov se uporablja kot varnostni zaščitni sistem, ko nadtlak, cevi VI ni mogoče prilagoditi pri normalni uporabi

Varnostni razbremenilni ventil je ključna komponenta za zagotovitev, da cevovodni sistem ne bo pod nadtlakom, varno delovanje, zato je bistvenega pomena pri delovanju cevovoda.Vendar je treba varnostni ventil v skladu z uredbo vsako leto poslati na pregled.Ko je uporabljen en varnostni ventil in je drugi pripravljen, ko je en varnostni ventil odstranjen, je drugi varnostni ventil še vedno v cevovodnem sistemu, da se zagotovi normalno delovanje cevovoda.

Skupina varnostnih razbremenilnih ventilov vsebuje dva varnostna razbremenilna ventila DN15, enega za uporabo in enega za pripravljenost.Pri normalnem delovanju je samo en varnostni razbremenilni ventil povezan s cevnim sistemom VI in deluje normalno.Drugi varnostni razbremenilni ventili so odklopljeni od notranje cevi in ​​jih je mogoče kadar koli zamenjati.Dva varnostna ventila sta povezana in odrezana skozi preklopno stanje stranskega ventila.

Skupina varnostnih razbremenilnih ventilov je opremljena z manometrom za preverjanje tlaka v cevnem sistemu kadar koli.

Skupina varnostnih razbremenilnih ventilov je opremljena z izpustnim ventilom.Uporablja se lahko za odvajanje zraka v cevi pri čiščenju, dušik pa se lahko odvaja, ko sistem s tekočim dušikom deluje.

dav

Kriogena oprema HL

HL Cryogenic Equipment, ki je bila ustanovljena leta 1992, je blagovna znamka, povezana s podjetjem Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company na Kitajskem.HL Cryogenic Equipment se zavzema za načrtovanje in izdelavo visokovakuumsko izoliranega kriogenskega cevnega sistema in sorodne podporne opreme.

V današnjem hitro spreminjajočem se svetu je zagotavljanje napredne tehnologije ob čim večjem prihranku stroškov za stranke zahtevna naloga.Podjetje HL Cryogenic Equipment Company že 30 let v skoraj vsej kriogenski opremi in industriji ima globlji vpogled v prizorišče uporabe, si je nabralo bogate izkušnje in je zanesljivo ter nenehno raziskuje in si prizadeva biti v koraku z najnovejšim razvojem na vseh področjih življenja, strankam pa zagotavlja nove, praktične in učinkovite rešitve, naredijo naše stranke bolj konkurenčne na trgu.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Čas objave: 25. avgusta 2021